● 氣體回收系統純化裝置 氣體回收裝置是對氫氣、氮氣、氬氣和氦氣進行回收再利用。采用該系列裝置是一項降低生產成本，節約能源，提高經濟效益的有力措施。 氫氣回收裝置主要用于鎢鉬待業還原工序排出的廢氫，收集廢氫后進入預處理系統，經增壓后由冷卻器冷卻，汽水分離器分離水份，然后進入純化裝置主體部分，對氫氣進行精制處理，經處理后的氫氣中含氧量≤5ppm,H2O≤10ppm。氫氣回收裝置分為中壓回收和常壓回收，中壓回收氫氣的增壓由壓縮機進行，而常壓回收則由羅茨風機來完成。 氬氣回收純化裝置是對區熔單晶硅爐排出的氬氣進行回收處理，通過膜片壓縮機穩壓器進入氬氣純化裝置主體部分進行純化處理，使氬氣純度達到99.999%以上。 氮氣、氦氣回收裝置一般按照用戶要求，以非標準型號提供，其純度為99.999%以上。